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            产品资料

            300mm晶圆工艺卧式高产能系统

            300mm晶圆工艺卧式高产能系统
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            • 产品名称:300mm晶圆工艺卧式高产能系统
            • 产品型号:YYKJJY300
            • 产品展商:燕园科技
            • 产品文档:无相关文档
            简单介绍

            提供出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺 系统同时支持干氧及湿氧工艺

            产品描述

            产品详情

            技术参数

             设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成

            加热系统包括5个双区加热单元

            用途/应用领域

             支持高达1200°C高温工艺,其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度(Dit)和高沟道迁移率的氧化物层。



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