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    产品资料

    卧式晶圆工艺批次处理系统

    卧式晶圆工艺批次处理系统
    • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
    • 产品名称:卧式晶圆工艺批次处理系统
    • 产品型号:YYKJJY1200
    • 产品展商:燕园科技
    • 产品文档:无相关文档
    简单介绍

    本款产品适用于材料的退火、扩散、氧化、低压化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积等。能够批量处理晶元材料大大节省了时间成本,是各种晶元材料批次处理的不二选择。

    产品描述
    技术参数
    1.  大气压加工英亚体育注册、等离子增强化学气相沉积加工与低压化学气相沉积加工
    2. 能提供任选加工腔方案
    3. 先进的水冷却系统保证不同的工艺炉管之间无热干扰
    4. ??榛考杓?,便于在洁净室内安装与启动生产 
     
    特征描述

     

    1. 快速冷却系统
    2. 用于自动舟输送的集成升降装置
    3. 集成舟缓冲与冷却系统
    4. 全自动晶圆输送系统(盒至盒运输)

     

    使用说明

     所有的炉管均配备一个综合的晶舟处理系统,其可以存放多达8个工艺晶舟,同时也集成有一个晶圆传输系统。

    水冷式加热器外壳和软着陆系统设计能*大限度排除外部环境影响英亚体育注册英亚体育注册。且易于维护,能确保低维护成本及高的正常运行时间。

     
    包装清单

     说明书一份 ,合格证一份

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