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    产品资料

    立式晶圆加工系统

    立式晶圆加工系统
    • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
    • 产品名称:立式晶圆加工系统
    • 产品型号:YYKJ1200
    • 产品展商:燕园科技
    • 产品文档:无相关文档
    简单介绍

    本款晶元系统有以下特点 1、占地面积小 2、优化的单管双舟传送系统,使搬运时间缩至*短,同时降低拥有成本与维修成本。 3、为高批量生产和产能*大化而设计,并具有高度的灵活性,适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。

    产品描述
    1. 本款设备每批加工量多达150片晶圆。
          2.设备还配备以下功能特点
    1. 自对准
    2. 双舟输送
    3. 水冷加热匣
    4. 可以并排安装

          3.本设备还可用于以下用途


    1. 退火
    2. 扩散
    3. LPcvd(低压化学气相沉积)
    4. 氧化


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