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            产品资料

            晶元热加工炉

            晶元热加工炉
            • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
            • 产品名称:晶元热加工炉
            • 产品型号:YYO1200
            • 产品展商:燕园科技
            • 产品文档:无相关文档
            简单介绍

            半导体晶元热处理系统具有以下优点 1、性能高、占地面积小、拥有成本低 2、具有许多半导体器件制造工序所要求的高度的加工灵活性 3、可根据需要加设薄晶圆装卸装置

            产品描述


            产品适用范围

            1. 大气压加工
            2. 退火
            3. 氧化
            4. 扩散
            5. LPcvd(低压化学气相沉积)
            6. PECVD(等离子增强化学气相沉积)


            技术参数


            1. 晶圆热加工炉有一无二的工艺腔体与加热系统能够在1100°C的高温下运转。
            2. 加热炉由于加工批量小,因此具有高度的灵活性,适合所有的标准大气压与低压加工。
            3. 这一结构的*大限度加工批量为50片晶圆,从而降低了客户的开发成本。


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