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- 产品名称：晶元热加工炉
- 产品型号：YYO1200
- 产品展商：燕园科技
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简单介绍
半导体晶元热处理系统具有以下优点
1、性能高、占地面积小、拥有成本低
2、具有许多半导体器件制造工序所要求的高度的加工灵活性
3、可根据需要加设薄晶圆装卸装置
产品描述
产品适用范围
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大气压加工
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退火
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氧化
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扩散
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LPcvd（低压化学气相沉积）
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PECVD（等离子增强化学气相沉积）
技术参数
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晶圆热加工炉有一无二的工艺腔体与加热系统能够在1100°C的高温下运转。
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加热炉由于加工批量小，因此具有高度的灵活性，适合所有的标准大气压与低压加工。
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这一结构的*大限度加工批量为50片晶圆，从而降低了客户的开发成本。