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    产品资料

    晶体生长炉

    晶体生长炉
    • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
    • 产品名称:晶体生长炉
    • 产品型号:蓝宝石晶体生长设备
    • 产品展商:燕园科技
    • 产品文档:无相关文档
    简单介绍

    晶体生长炉、晶体生长炉

    产品描述

    在传统的直拉法生产单晶材料时英亚体育注册,生产设备存在自动化程度低,投料量少、设备功能单元布局不合理等一系列问题英亚体育注册,从而导致单晶生产中人工劳动强度大、单位产能与品质低,成本高等一系列问题英亚体育注册。随着社会的进步,市场对新一代单晶生产设备转向自动化程度高、投料量大、单位时间产能高英亚体育注册、能耗低等方面。针对这些需求,炉压自动控制技术、CCD非接触测量技术、炉体恒温控制技术的发展的进一步要求也是自动化;大炉体,高副室,旋板阀,水冷屏等的技术改进,是提高投料量与产能的必要方式。当投料量与产能达到一定程度时,副室的高度会进一步增加,因此坩埚托盘与提拉头的动平衡问题会日渐突出,如何保证两大低频非规则运动部件的动平衡将会是一大挑战英亚体育注册。

    NVT-HG型单晶炉可实现生长过程的全自动控制,炉压全自动控制,采用CCD测量技术,此外还以其大装炉量英亚体育注册、高生产效率、低能量消耗,为客户带来额外利益。

    应用领域

    ? 直拉法晶体提纯

    ? 直拉法多晶生长

    ? 直拉法单晶生长

    ? 目前主要用于单晶硅棒的生产制造

     

    适用工艺

    炉压自动控制、CCD非接触测量、自动旋板阀、下排气流线型管路等

     

    产品优势

    • 单台2吨以上的月产能,实现单晶硅棒量产。
    • 合理的炉体布局,使得炉子能耗同比下降10%。
    • 大尺寸的主室为大投料量留下了空间。
    • CCD系统保障了晶体的自动引放与等径英亚体育注册,为以后升级预备了空间。
    • 自动旋板阀的应用大大提高了副室的可应用长度,自动开旋大大减少了操作人员的劳动强度。
    • 下排气的流线型设计英亚体育注册,为硅料页面提供稳定的氩气氛围,大大提高液面与硅棒生产的稳定性。
    • 在极端的漏水等情况发生时,炉盖泄压设计防止了炉体爆炸英亚体育注册,将高压泄 放。
    • 自动炉压系统快速调整炉压,实现了炉体自动压力恒压,解决了人工调整炉压的滞后性和准确性等问题英亚体育注册。
    • 工艺菜单为客户提供了各类工艺设置储存,客户可以按照自主工艺自动生产晶体。
    • 单机版数据工作站按每分钟储存一次的速率快速存储数条关键数据,为 用户实现工艺参数追溯。
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